Medición de la planicidad de las obleas mediante perfilometría 3D

En esta aplicación, el Nanovea ST400 Perfilómetro se utiliza para medir la sección de un conjunto de obleas. La superficie medida se seleccionó al azar, y se asumió que era lo suficientemente grande como para poder extrapolarla para hacer suposiciones sobre una superficie mucho mayor. Superficie medición de la planicidadLa superficie se analiza mediante el análisis de la planitud y otros parámetros de la superficie.

Medición de la planicidad de las obleas mediante perfilometría 3D