En esta aplicación, el Nanovea ST400 Perfilómetro Se utiliza para medir la sección de una matriz de obleas. El área medida se seleccionó al azar y se consideró lo suficientemente grande como para poder extrapolarla y hacer suposiciones sobre una superficie mucho mayor. Superficie medición de la planitud, la planaridad y otros parámetros superficiales se utilizan para analizar la superficie.

Medición de la planitud de obleas mediante perfilometría 3D