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Propiedades mecánicas de los recubrimientos de obleas de carburo de silicio

Comprender las propiedades mecánicas de los recubrimientos de obleas de carburo de silicio es fundamental. El proceso de fabricación de dispositivos microelectrónicos puede tener más de 300 pasos de procesamiento diferentes y puede durar entre seis y ocho semanas. Durante este proceso, el sustrato de la oblea debe ser capaz de soportar las condiciones extremas de fabricación, ya que un fallo en cualquier paso supondría la pérdida de tiempo y dinero. Las pruebas de durezaLa resistencia a la adherencia y a los arañazos y la tasa de desgaste de la oblea deben cumplir ciertos requisitos para sobrevivir a las condiciones impuestas durante el proceso de fabricación y aplicación para asegurar que no se produzca un fallo.

Propiedades mecánicas de los recubrimientos de obleas de carburo de silicio

Medición del espesor del revestimiento de las obleas mediante perfilometría 3D

La medición del espesor del revestimiento de las obleas es fundamental. Las obleas de silicio se utilizan ampliamente en la fabricación de circuitos integrados y otros microdispositivos utilizados en un gran número de industrias. La demanda constante de obleas y recubrimientos de obleas más finos y lisos hace que el sistema de medición sin contacto Nanovea 3D Perfilómetro una gran herramienta para cuantificar el espesor del recubrimiento y la rugosidad de casi cualquier superficie. Las mediciones de este artículo se realizaron a partir de una muestra de oblea recubierta para demostrar las capacidades de nuestro perfilómetro 3D sin contacto.

Medición del espesor del revestimiento de las obleas mediante perfilometría 3D