Mesure de la planéité d'un wafer à l'aide de la profilométrie 3D

Dans cette application, le Nanovea ST400 Profilomètre est utilisé pour mesurer la section d'un réseau de plaquettes. La surface mesurée a été choisie au hasard, et supposée suffisamment grande pour pouvoir être extrapolée afin d'émettre des hypothèses sur une surface beaucoup plus grande. Surface mesure de la planéitéla planéité et d'autres paramètres de surface sont utilisés pour analyser la surface.

Mesure de la planéité d'un wafer à l'aide de la profilométrie 3D