Bu uygulamada Nanovea ST400 Profilometre bir wafer dizisinin kesitini ölçmek için kullanılır. Ölçülen alan rastgele seçilmiştir ve çok daha büyük bir yüzey hakkında varsayımlarda bulunmak için tahmin edilebilecek kadar büyük olduğu varsayılmıştır. Yüzey düzlük ölçümü, düzlemsellik ve diğer yüzey parametreleri yüzeyi analiz etmek için kullanılır.

3D Profilometri Kullanarak Wafer Düzlük Ölçümü