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AR Archives mensuelles : mars 2018
Propriétés mécaniques des revêtements de plaquettes en carbure de silicium
Il est essentiel de comprendre les propriétés mécaniques des revêtements des plaquettes en carbure de silicium. Le processus de fabrication des dispositifs microélectroniques peut comporter plus de 300 étapes de traitement différentes et peut prendre de six à huit semaines. Au cours de ce processus, le substrat de la tranche doit être capable de résister aux conditions extrêmes de la fabrication, car un échec à n'importe quelle étape entraînerait une perte de temps et d'argent. Les tests de duretéL'adhérence, la résistance aux rayures et le taux d'usure de la plaquette doivent répondre à certaines exigences afin de survivre aux conditions imposées pendant le processus de fabrication et d'application et de garantir qu'une défaillance ne se produira pas.
Propriétés mécaniques des revêtements de plaquettes en carbure de silicium
Mesure de l'épaisseur du revêtement d'un wafer à l'aide de la profilométrie 3D
La mesure de l'épaisseur du revêtement des plaquettes est essentielle. Les tranches de silicium sont largement utilisées dans la fabrication de circuits intégrés et d'autres micro-dispositifs utilisés dans un grand nombre d'industries. La demande constante de wafers et de revêtements de wafers plus fins et plus lisses rend le Nanovea 3D sans contact Profilomètre un outil formidable pour quantifier l'épaisseur du revêtement et la rugosité de n'importe quelle surface. Les mesures présentées dans cet article ont été prises sur un échantillon de plaquette revêtue afin de démontrer les capacités de notre profilomètre 3D sans contact.
Mesure de l'épaisseur du revêtement d'un wafer à l'aide de la profilométrie 3D
