Propiedades mecánicas de los recubrimientos de obleas de carburo de silicio

Comprender las propiedades mecánicas de los recubrimientos de obleas de carburo de silicio es fundamental. El proceso de fabricación de dispositivos microelectrónicos puede tener más de 300 pasos de procesamiento diferentes y puede durar entre seis y ocho semanas. Durante este proceso, el sustrato de la oblea debe ser capaz de soportar las condiciones extremas de fabricación, ya que un fallo en cualquier paso supondría la pérdida de tiempo y dinero. Las pruebas de durezaLa resistencia a la adherencia y a los arañazos y la tasa de desgaste de la oblea deben cumplir ciertos requisitos para sobrevivir a las condiciones impuestas durante el proceso de fabricación y aplicación para asegurar que no se produzca un fallo.

Propiedades mecánicas de los recubrimientos de obleas de carburo de silicio