Medición del espesor del revestimiento de las obleas mediante perfilometría 3D

La medición del espesor del revestimiento de las obleas es fundamental. Las obleas de silicio se utilizan ampliamente en la fabricación de circuitos integrados y otros microdispositivos utilizados en un gran número de industrias. La demanda constante de obleas y recubrimientos de obleas más finos y lisos hace que el sistema de medición sin contacto Nanovea 3D Perfilómetro una gran herramienta para cuantificar el espesor del recubrimiento y la rugosidad de casi cualquier superficie. Las mediciones de este artículo se realizaron a partir de una muestra de oblea recubierta para demostrar las capacidades de nuestro perfilómetro 3D sin contacto.

Medición del espesor del revestimiento de las obleas mediante perfilometría 3D