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Medición de la planitud de obleas mediante perfilometría 3D
En esta aplicación, el Nanovea ST400 Perfilómetro Se utiliza para medir la sección de una matriz de obleas. El área medida se seleccionó al azar y se consideró lo suficientemente grande como para poder extrapolarla y hacer suposiciones sobre una superficie mucho mayor. Superficie medición de la planitud, la planaridad y otros parámetros superficiales se utilizan para analizar la superficie.
