Nanovea ha portato il sistema 3D HS1000 ad alta velocità. Profilometro al successivo livello opzionale. Al posto della penna ottica standard, il sensore di linea, nell'opzione Nanoview, è stato abbinato a una messa in scena sia lineare che rotazionale.
SPECIFICHE:
Velocità: 1800 "Linee" o 324.000 "Punti" al secondo
Lunghezza della linea: 1,33 mmNumero di punti: 180
Dimensione spot: 3,6um Piazzola: 7,4um
Distanza di lavoro: 5 mm
Z Campo di misura: 110um
Risoluzione: 20nm



