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Nanovea Profilometer erhält "Klasse 1"-Reinraumzulassung

Irvine, Kalifornien, 22. Januar 2009 - Nanovea Inc. gab heute die erfolgreiche Installation ihres Profilometers im Reinraum der Klasse 1 bei einem führenden Mikroelektronikhersteller bekannt. Die Freigabe von Reinräumen der Klasse 1 ist bekannt für die strenge Einhaltung der Vorschriften und die besonderen Anforderungen an alle bei der Entwicklung des Geräts verwendeten Materialien. Die fortschrittlichen, berührungslosen 3D-Profilierungsfähigkeiten der Nanovea-Profilometer sind nun eine Option für die strengsten Reinraumanforderungen in der Mikroelektronik. Durch die Verwendung von "sauberen" motorisierten Lineartischen und die richtige Auswahl von Materialien haben die Ingenieure von Nanovea ein System entwickelt, das mit den strengen Klasse-1-Standards kompatibel ist. Reinräume der Klasse 1 haben einen streng kontrollierten Verschmutzungsgrad und lassen nur sehr wenige Partikel jeglicher Art zu. Bei der Konstruktion der X-Y-Tische war die Materialauswahl entscheidend, damit während der Prüfung nur wenige Partikel in die Luft abgegeben werden. Das System wurde außerdem mit einem hohen Maß an Ebenheit und Genauigkeit sowie mit einem Automatisierungsgrad entwickelt, der es dem Benutzer ermöglicht, mehrere Bereiche zu messen und diese zusammenzufügen. Auf diese Weise kann der Benutzer eine große, ebene Fläche erstellen, um die relative Ebenheit mit sehr wenig Benutzerinteraktion zu vergleichen. Der messbare Bereich des benutzerdefinierten Profilers kann bis zu 30 cm x 30 cm groß sein, mit einer vertikalen Auflösung von bis zu 2 nm. Es gibt auch ein Design zum Scannen großer, schwerer und sogar unbeweglicher Teile. Dies ist nur ein kleiner Einblick in die Projekte, die von den Nanovea-Ingenieuren angepasst wurden. Sie haben auch ein kundenspezifisches Hochgeschwindigkeits-Profilometer mit Geschwindigkeiten von über 30.000 Punkten/Sekunde und maschinellem Sehen mit Bilderkennung zur Verbesserung der Effizienz entwickelt. Zusätzlich, Profilometer wurden mit kundenspezifischen Scanfunktionen ausgestattet, um Oberflächenmessungen sowohl von der Ober- als auch von der Unterseite zu erfassen und gleichzeitig die Dicke des Materials zu messen, und zwar mit einer Auflösung im Nanometerbereich. "Die zusätzliche Reinraumausführung ermöglicht Nanovea eine engere Zusammenarbeit mit strengen Umgebungen und zeigt einmal mehr unser Engagement für Erfindungsreichtum". Sagte Craig Leising, Produktmanager von Nanovea, Inc.