Mesure d'un film transparent sur un substrat transparent

Le profilomètre Nanovea PS50 est utilisé pour la mesure de la rugosité, de l'épaisseur de la hauteur de marche et de l'épaisseur optique d'un film mince transparent sur un substrat en verre transparent. La hauteur de marche sera obtenue en mesurant une zone du film et une zone où le substrat est exposé pour la différence de hauteur relative, tandis que l'épaisseur optique sera mesurée en utilisant le profilomètre PS50. Profilometer capacité de mesurer à travers le film transparent et de détecter une réflexion provenant à la fois de la surface supérieure du film et du substrat simultanément.

Mesure de films transparents sur des substrats transparents par profilométrie 3D