3Dプロフィロメトリーによるウェハの平坦度測定

このアプリケーションでは、Nanovea ST400 プロフィロメーター は、ウェハーアレイの断面を測定するために使用されます。測定面積はランダムに選択され、より大きな表面について仮定するために外挿することができるという点で十分に大きいと仮定される。表面 平坦度測定また、平面度やその他の表面パラメータも解析に使用されます。

3Dプロフィロメトリーによるウェハの平坦度測定