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使用三维轮廓测量法测量晶圆的平面度
在此应用中，Nanovea ST400 轮廓仪 是用来测量晶圆阵列的截面的。测量的面积是随机选择的，并假定其足够大，以便可以推断出更大的表面的假设。表面 平面度测量剖析表面时，使用了平面性和其他表面参数。
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