透明基材上的透明薄膜测量

Nanovea PS50轮廓仪用于测量透明玻璃基底上透明薄膜的粗糙度、阶梯高度厚度和光学厚度。阶梯高度将通过测量薄膜的一个区域和基材暴露的一个区域的相对高度差来获得，而光学厚度将通过使用 剖面图有能力通过透明薄膜进行测量，并同时检测来自薄膜顶面和基材的反射。

使用三维轮廓测量法测量透明基材上的透明薄膜