PL 
EN 
ES 
DE 
FR 
IT 
ZH 
JA 
PT 
TR 
KO 
AR Archiwa miesiąca: marzec 2018
Właściwości mechaniczne powłok na płytki z węglika krzemu
Zrozumienie właściwości mechanicznych powłok na waflach z węglika krzemu ma kluczowe znaczenie. Proces produkcji urządzeń mikroelektronicznych może obejmować ponad 300 różnych etapów i może trwać od sześciu do ośmiu tygodni. Podczas tego procesu, podłoże wafla musi być w stanie wytrzymać ekstremalne warunki produkcji, ponieważ niepowodzenie na którymkolwiek etapie spowoduje stratę czasu i pieniędzy. Testowanie twardośćOdporność na przyleganie/zadrapanie oraz współczynnik COF/zużycie płytki muszą spełniać określone wymagania, aby przetrwać warunki narzucone podczas procesu produkcji i aplikacji, aby zapewnić, że nie dojdzie do awarii.
Pomiar grubości powłoki wafla za pomocą profilometrii 3D
Pomiar grubości powłok na płytkach krzemowych ma znaczenie krytyczne. Wafle krzemowe są szeroko stosowane w produkcji układów scalonych i innych mikrourządzeń wykorzystywanych w wielu gałęziach przemysłu. Stałe zapotrzebowanie na cieńsze i gładsze płytki i powłoki na płytkach sprawia, że bezdotykowy Nanovea 3D Profilometr jest doskonałym narzędziem do ilościowej oceny grubości powłoki i chropowatości niemal każdej powierzchni. Pomiary w tym artykule zostały wykonane na próbce pokrytego wafla w celu zademonstrowania możliwości naszego Profilometru Bezkontaktowego 3D.
