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AR 月別アーカイブ3月 2018
炭化ケイ素ウェハーコーティングの機械的特性
炭化ケイ素ウェハーコーティングの機械的特性を理解することは、非常に重要です。マイクロエレクトロニクスデバイスの製造工程は、300 以上の異なる処理工程があり、6 週間から 8 週間かかることもあります。この工程では、どの工程で失敗しても時間と費用の損失につながるため、ウェハー基板は製造の極限状態に耐えられる必要があります。のテストは 硬度また、ウェーハの接着性、耐スクラッチ性、COF/磨耗率は、製造工程や塗布工程で課せられる条件に耐え、故障が発生しないように一定の条件を満たす必要があります。
3Dプロフィロメトリーによるウェハーコーティング厚み計測
ウェーハの膜厚測定は重要です。シリコンウェーハは、膨大な数の産業で使用される集積回路やその他のマイクロデバイスの製造に広く使用されています。より薄く、より滑らかなウェーハとウェーハコーティングが常に求められているため、Nanovea 3D非接触式厚み測定機が使用されています。 プロフィロメーター は、あらゆる表面のコーティングの厚みと粗さを定量化するための優れたツールです。この記事では、3D非接触プロフィロメータの能力を実証するために、コーティングされたウェハサンプルから測定されたものです。
