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AR 月別アーカイブ8月 2017
ポリマーコーティングのマイクロスクレイプテスト
スクラッチテスト は，塗膜の凝集力と接着力を評価するための最も広く適用されている方法の 1 つとして発展してきた。印加荷重が徐々に増加するにつれてある種の皮膜破壊が起こる臨界荷重は，皮膜の接着性・凝集性を判断し比較するための信頼できるツールとして広く認識されている。スクラッチ試験用の圧子としては、円錐形のロックウェルダイヤモンド圧子が最も一般的に使用されている。しかし、シリコンウェハーのような脆い基板上に形成された柔らかいポリマーコーティングに対してスクラッチテストを行う場合、円錐形の圧子は亀裂や剥離を生じさせるのではなく、溝を形成しながらコーティングを突き進む傾向があります。しかし、荷重が大きくなると、脆いシリコンウェハーにクラックが発生する。したがって、脆性基板上のソフトコーティングの凝集力または接着力を評価する新しい技術の開発が不可欠である。
