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类别。轮廓测量测试

 

使用三维轮廓测量法测量晶圆的平面度

在此应用中,Nanovea ST400 轮廓仪 是用来测量晶圆阵列的截面的。测量的面积是随机选择的,并假定其足够大,以便可以推断出更大的表面的假设。表面 平面度测量剖析表面时,使用了平面性和其他表面参数。


使用三维轮廓测量法测量晶圆的平面度

使用三维轮廓测量法进行纹理一致性测量

在此应用中,Nanovea ST400 轮廓仪 是用来测量 纹理一致性 的油毡地板。这里的预期表面纹理应该是一个相对大小相同的重复性结构。测量一小块区域应该可以看出这种纹理的产生是多么的一致。

使用三维轮廓测量法进行纹理测量的一致性

使用三维轮廓测量法的微划痕深度测量

在此应用中,Nanovea ST400 剖面图r用于 深度测量 使用 Nanovea 创建的一排微划痕 机械测试仪 在暂存模式下。轮廓仪在 2D 模式下通过单线扫描,在几秒钟内即可提供面积和深度测量。

使用三维轮廓测量法测量微划痕的深度