类别。轮廓测量测试
使用三维轮廓测量法测量晶圆的平面度
在此应用中,Nanovea ST400 轮廓仪 是用来测量晶圆阵列的截面的。测量的面积是随机选择的,并假定其足够大,以便可以推断出更大的表面的假设。表面 平面度测量剖析表面时,使用了平面性和其他表面参数。
使用三维轮廓测量法进行纹理一致性测量
在此应用中,Nanovea ST400 轮廓仪 是用来测量 纹理一致性 的油毡地板。这里的预期表面纹理应该是一个相对大小相同的重复性结构。测量一小块区域应该可以看出这种纹理的产生是多么的一致。



