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AR 类别。轮廓测量测试
透明基材上的透明薄膜测量
Nanovea PS50轮廓仪用于测量透明玻璃基底上透明薄膜的粗糙度、阶梯高度厚度和光学厚度。阶梯高度将通过测量薄膜的一个区域和基材暴露的一个区域的相对高度差来获得，而光学厚度将通过使用 剖面图有能力通过透明薄膜进行测量，并同时检测来自薄膜顶面和基材的反射。
使用三维轮廓测量法测量晶圆的平面度
在此应用中，Nanovea ST400 轮廓仪 是用来测量晶圆阵列的截面的。测量的面积是随机选择的，并假定其足够大，以便可以推断出更大的表面的假设。表面 平面度测量剖析表面时，使用了平面性和其他表面参数。
使用三维轮廓测量法进行纹理一致性测量
在此应用中，Nanovea ST400 轮廓仪 是用来测量 纹理一致性 的油毡地板。这里的预期表面纹理应该是一个相对大小相同的重复性结构。测量一小块区域应该可以看出这种纹理的产生是多么的一致。
