W tym zastosowaniu, tester mechaniczny Nanovea, w nano testowanie zarysowań służy do pomiaru odporności na pękanie próbki krzemowej o grubości 170 μm. Musimy symulować proces zarysowania w kontrolowany i monitorowany sposób, aby obserwować efekty zachowania próbki. Rysik z końcówką diamentową o średnicy 2 μm jest używany przy progresywnym obciążeniu w zakresie od 0,5 mN do 400 mN do zarysowania powierzchni krzemu. Punkty awarii zostaną poddane przeglądowi.

Odporność krzemu na pękanie dzięki testom nanozarysowań