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3D 프로파일 측정을 이용한 웨이퍼 코팅 두께 측정
웨이퍼 코팅 두께 측정은 매우 중요합니다. 실리콘 웨이퍼는 다양한 산업 분야에서 사용되는 집적 회로 및 기타 마이크로 디바이스 제작에 널리 사용됩니다. 더 얇고 매끄러운 웨이퍼와 웨이퍼 코팅에 대한 지속적인 수요로 인해 나노비아 3D는 비접촉식 프로파일 미터 는 거의 모든 표면의 코팅 두께와 거칠기를 정량화할 수 있는 훌륭한 도구입니다. 이 글의 측정은 3D 비접촉 프로파일로미터의 기능을 보여주기 위해 코팅된 웨이퍼 샘플에서 수행되었습니다.
