切削工具の刃先の計測を秒単位で

Irvine CA, July 27, 2016 - 従来のプロフィロメトリは、サンプル表面を単一の固定方向からスキャンしています。 これは、360°の正確な回転が必要な円筒形とは対照的に、十分に平らなサンプルを測定する場合にのみ適しています。工具のヘリカルエッジの特性評価などのアプリケーションでは、従来の装置では部品全体を異なる角度から複数回スキャンし、さらにスキャン後のデータ操作にも多大な時間を要します。このため、特定の部位のみの測定が必要な品質管理用途では、時間がかかりすぎることがよくあります。

ナノベアの回転ステージは、横軸と回転軸の同時制御により、この問題を解決します。この技術により、部品全体の測定と連続的な再調整という時間のかかる作業が不要になりました。その代わり、切削刃の全周を数秒で決定することができます。また、スキャンした画像から、希望する角度や形状を直接判断することができ、複数のファイルをつなぎ合わせるような大がかりな作業は必要ありません。

ナノオーダーのクロマティックコンフォーカル技術は、2.7nmの分解能と精度を有し、競合他社のフォーカスバリエーションよりはるかに優れています。表面高さは、表面に焦点を当てた波長の検出から直接測定されます。反射率が極端に高い材料や低い材料も簡単に測定でき、非常に高い壁角も問題なく正確に特徴付けることができます。

NANOVEAのラインセンサーと組み合わせることで、最大幅4.78mmのバーデータを1パスで取り込み、走査方向に最大150mmまで直線的に移動させることが可能です。同時に、回転ステージは任意の速度で試料を回転させることができます。このシステムにより、任意のピッチや半径の切れ刃の全周の連続した3次元ハイトマップを、他の技術に比べ短時間で作成することができるようになった。

アプリ注を参照。 3Dプロフィロメトリーによる回転計測