このアプリケーションでは、ナノベアメカニカルテスター、ナノでの スクラッチテスト モードを使用して、厚さ170μmのシリコン試料の耐破壊性を測定しています。試料の挙動効果を観察するためには、制御および監視された方法でスクラッチのプロセスをシミュレートする必要があります。 2μmのダイヤモンドチップ付きスタイラスを用い、0.5 mNから400 mNまでの漸増荷重でシリコン表面に傷をつけます。故障のポイントも検討されます。

ナノスクラッチ試験によるシリコンの耐破壊性評価