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ナノベアプロフィロメーターが「クラス1」のクリーンルーム認定を取得

2009 年 1 月 22 日カリフォルニア州アーバイン - ナノベアインクは、大手マイクロエレクトロニクス製造会社のク ラス 1 クリーンルーム内に同社のプロフィロメータを設置することに成功したと発表しました。クラス 1 クリーンルームは、機器の開発に使用されるすべての材料に対して厳しいコンプライアンスとカスタム要求があることで知られています。ナノベアのプロフィロメーターの高度な3D非接触プロファイリング能力は、今後、最も厳しいマイクロエレクトロニクスクリーンルーム要件に対応するオプションとなるでしょう。クリーン」な電動リニアステージの使用と適切な材料の選択により、ナノベアのエンジニアは厳しいクラス 1 規格に適合するシステムをカスタム設計しました。クラス1のクリーンルームは、汚染レベルが厳しく管理されており、いかなる種類の粒子もほとんど許容されません。X-Yステージの設計では、テスト中に空気中にほとんど粒子が放出されないように、材料の選択が非常に重要でした。また、高い平面度、精度を持ち、複数のエリアを測定し、それらをつなぎ合わせることができるような自動化レベルの設計がなされました。これにより、ユーザーはほとんど操作することなく、相対的な平坦度を比較するために、一つの大きな平面を作成することができるようになります。カスタムプロファイラの測定可能領域は、最大30cm×30cmで、垂直分解能は2nmまで可能です。また、大型の部品や重量物、さらには動かせない部品をスキャンするためのデザインも用意されています。これは、ナノベアのエンジニアがカスタマイズしたプロジェクトのほんの一例に過ぎません。また、30,000点/秒を超える高速プロフィロメーターや、画像認識によるマシンビジョンもカスタムメイドで提供し、効率化を図っています。さらに プロフィロメーター は、材料の厚さを測定しながら、上面と下面の両方から表面測定を取得するカスタムスキャン機能を備えており、すべてナノメートルの分解能で測定できます。"クリーンルーム設計の追加により、ナノベアは厳しい環境に近いところで作業できるようになり、改めて当社の創意工夫への献身を示すことができます。"と、ナノベア社のプロダクトマネージャーであるクレイグ・ライジングは述べています。