Właściwości mechaniczne powłok na płytki z węglika krzemu
Zrozumienie właściwości mechanicznych powłok na waflach z węglika krzemu ma kluczowe znaczenie. Proces produkcji urządzeń mikroelektronicznych może obejmować ponad 300 różnych etapów i może trwać od sześciu do ośmiu tygodni. Podczas tego procesu, podłoże wafla musi być w stanie wytrzymać ekstremalne warunki produkcji, ponieważ niepowodzenie na którymkolwiek etapie spowoduje stratę czasu i pieniędzy. Testowanie twardośćOdporność na przyleganie/zadrapanie oraz współczynnik COF/zużycie płytki muszą spełniać określone wymagania, aby przetrwać warunki narzucone podczas procesu produkcji i aplikacji, aby zapewnić, że nie dojdzie do awarii.