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크로마틱 공초점 기술

프로파일 측정 - 색채 공초점 센서 기술
가파른 각도에 적합
이미지 스티칭 없음
넓은 영역에서 빠른 속도
샘플 준비 없음
매우 쉬운 사용
리포커싱 없음

나노베아에 사용된 크로마틱 공초점 기술 프로파일 미터는 백색광과 일련의 구면 변색 렌즈를 활용하는 프로세스를 통해 작동합니다. 구면 변색 렌즈는 백색광을 고유한 수직 초점(표면 또는 높이로부터의 수직 거리)을 가진 개별 파장으로 분할합니다. 모든 파장과 그에 해당하는 높이는 센서의 높이 범위 측정 눈금을 구성합니다.

가장 높은 강도를 가진 파장은 파장의 관련 높이를 처리하는 분광계에 의해 감지됩니다. 전체 래스터 스캔 중에는 이 프로세스에 다음 시간이 걸립니다. 를 사용하여 관심 있는 표면의 정확한 높이 맵을 생성합니다.

복잡한 알고리즘 없음 레벨링 필요 없음

X-Y 데이터 스티칭 없음

다른 기법의 문제점

(간섭계, 레이저 현미경, 초점 변화)

측면 해상도 대 측면 정확도

카메라 픽셀 크기 또는 디스플레이 해상도는 고객에게 깊은 인상을 주기 위해 측면 해상도로 정의되는 경우가 많습니다.

카메라 픽셀 기반 기술을 사용하는 기기는 복잡한 표면에서 문제가 되는 기기의 초점을 결정하기 위해 복잡한 알고리즘이 필요합니다.

반면 나노베아의 색채 공초점 기술은 물리학에 의해 결정되며 광학 센서의 색채 광원의 스팟 크기와 직접적으로 관련된 측면 정확도를 제공합니다.

기타

나노베아

레이저 스캐닝 공초점 현미경

VS

색광 광학 센서

건강 위험

레이저 광 반사율에 노출

안전한 백색광

보호복이 필요하지 않습니다.

일관되지 않은 레이저 광 파장

스캔 중 파장의 불일치는 결과의 정확성에 영향을 미칩니다.

균일하고 넓은 백색광 스펙트럼

파장의 변화는 수집되는 데이터입니다.

기만적인 '디스플레이 해상도'

대물 렌즈에 의해 측면 및 높이 정확도가 고정됩니다. '디스플레이 해상도'를 무의미하게 만들기

독립적인 측면 및 높이 정확도

측면 및 높이 정확도를 혼합 및 일치시켜 광범위한 스캔 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

복잡한 알고리즘

알파 블렌딩 알고리즘은 수집된 데이터를 레이어별로 연결하여 복잡한 계산을 기반으로 정확도를 높입니다.

알고리즘 없음

표면에서 반사되는 물리적 파장을 직접 측정하여 정확한 대표 높이 맵을 생성합니다.

스티칭 필요

대물렌즈에는 고정된 시야가 제한되어 있습니다. 넓은 영역을 스티칭하면 스캔의 정확도가 저하됩니다.

바느질 없음

데이터 포인트는 지속적으로 수집되어 소규모 및 대규모 영역 모두에 대해 동일한 수준의 정확도를 제공합니다.

50배 느림

최대 7.9KHz의 데이터 수집 속도

50배 더 빨라진 속도

최대 384KHz의 데이터 수집 속도

동전 스캔하기

측면 정확도

기타

나노베아

50배 목표

VS

고속 센서(950μm)

50배 대물렌즈(370 x 277 µm)용

측정값 ±2%

±2% x 370 µm

≈ 15 µm

스티칭 알고리즘 >> 15µm 사용

단계 크기:

≈ 5 µm

최대 한계: 0.9µm

3배 향상된 측위 정확도

높이 정확도

기타

나노베아

50배 목표

VS

고속 센서(950μm)

≈ 0.2 + L/100 µm

≈ 0.2 + 950/100 µm

9.7 µm

950 µm 범위

≈ 0.6 µm

최대 한계: 0.014 µm

16배 향상된 높이 정확도

테스트 지역

기타

나노베아

50배 목표

VS

고속 센서(950μm)

스티칭 필요

# 스캔(25 x 25mm)

25,000μm / 370μm x 25,000μm / 277μm

68 x 91

= 6188 스캔

스티칭 없음

모든 측정 크기에 걸쳐 일관된 정확도

1 스캔

테스트 시간

기타

나노베아

50배 목표

VS

고속 센서(950μm)

스캔당 6초

+ 4초 변위 및 스티칭

= 10초/스캔 x 6188회 스캔

= 61880초 (≈ 17시간)

스캔 시간(25 x 25mm)

= 29.6초

2090배 더 빨라진 속도

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