クロマティックコンフォーカル技術
鮮明画像
NANOVEAで使用されているクロマティック共焦点技術 プロフィロメーター白色光と一連のスフェロクロマチックレンズを利用したプロセスで作動する。スフェロクロマチックレンズは、白色光を固有の垂直焦点(表面からの垂直距離または高さ)を持つ個々の波長に分割する。 すべての波長とそれに対応する高さは、センサーの高さ方向の測定スケールを構成します。
最も高い強度を持つ波長が分光器によって検出され、その波長に関連する高さが処理されます。フルラスタースキャンでは、この処理に の高さマップを作成することができます。
複雑なアルゴリズムなし レベリング不要
x-yデータのステッチなし
横分解能と横精度
カメラの画素サイズやディスプレイの解像度は、クライアントを感動させるために横方向の解像度として定義されることが多い。
カメラピクセルベースの技術を使用する機器では、機器の焦点位置を決定するために複雑なアルゴリズムが必要となり、複雑な表面には問題があります。
一方、ナノベアのクロマティックコンフォーカル技術は、光学センサーの色光源のスポットサイズに直接関係する、物理学で決定される横方向の精度を提供します。
その他
ナノビア
レーザー走査型共焦点顕微鏡
VS
クロマチックライト光学センサー
健康被害
レーザー光の反射率にさらされる
安全な白色光
保護具は必要ありません
不整合レーザー光の波長
スキャン時の波長のズレが測定精度に影響
均一で広い白色光スペクトル
波長の変化は、収集されるデータ
偽装された「表示解像度
対物レンズにより、横方向と高さの精度が固定される ディスプレイの解像度を重要視しない
独立した横方向および高さ方向の精度
横方向と高さ方向の精度を組み合わせることで、様々なスキャンニーズに対応可能
コンプレックスアルゴリズム
アルファブレンディングアルゴリズムは、収集したデータをレイヤーごとにステッチし、複雑な計算の精度を下地処理します。
NO ALGORITHMS
表面から反射する物理波長を直接測定し、正確な代表高さマップを実現
要縫製
対物レンズは固定視野が限られています。 大きな面積のステッチングはスキャンの精度を低下させる
NO STITCHING
データポイントを連続的に収集し、小面積から大面積まで同じレベルの精度を実現します。
50倍速
最大7.9KHzのデータ収集速度
50倍速
最大384KHzのデータ収集速度
コインをスキャンしてみよう
横方向精度
その他
ナノビア
50倍OBJECT
VS
高速度センサー (950 μm)
50倍対物レンズ(370×277μm)用
測定値の±2%
±2%×370μm
≈ 15 µm
スティッチングアルゴリズム使用時 >> 15 µm
ステップサイズ
≈ 5 µm
3倍速いラテラルの正確さ
高さ精度
その他
ナノビア
50倍OBJECT
VS
高速度センサー (950 μm)
≈ 0.2 + L/100 µm
≈ 0.2 + 950/100 µm
≈ 9.7 µm
950μmレンジ
≈ 0.6 µm
最大限度:0.014μm
16倍の高さ精度を実現
テスト対象地域
その他
ナノビア
50倍OBJECT
VS
高速度センサー (950 μm)
ステッチが必要
#スキャン(25×25mm)
25,000μm / 370μm×25,000μm / 277μm
68 x 91
= 6188 スキャン
ステッチなし
あらゆる測定サイズにわたって一貫した精度
1 スキャンの場合
テスト時間
その他
ナノビア
50倍OBJECT
VS
高速度センサー (950 μm)
6秒/スキャン
+ 4秒変位&ステッチ
= 10秒/スキャン×6188スキャン
= 61880秒 (≒17時間)
スキャンタイム(25×25mm)
= 29.6秒
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