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色素共聚焦技术

轮廓测量法 - 色度共焦传感器技术
适合于陡峭的角度
无需图像拼接
大面积快速测量
无需样品预处理
使用非常容易
无需重新聚焦

用于 NANOVEA 的色度共焦技术 轮廓仪该系统的工作原理是利用白光和一系列球面变色透镜。球面变色透镜将白光分成具有独特垂直焦点(与表面的垂直距离或高度)的各个波长。 所有的波长和它们相应的高度构成了一个传感器的高度范围测量标尺。

强度最高的波长将被光谱仪检测到,光谱仪会处理该波长的相关高度。在一次完整的光栅扫描中,这个过程需要 在几分之一秒的时间内,产生感兴趣的表面的精确高度图。

没有复杂的算法,不需要平整。

没有X-Y数据的缝合

其他技术的问题

(干涉测量法、激光显微镜、焦点变化法)

侧向分辨率与侧向精度

相机像素大小或显示分辨率通常被定义为横向分辨率,以打动客户。

使用基于相机像素技术的仪器需要复杂的算法来确定仪器的焦点,这对于复杂的表面来说是有问题的。

另一方面,NANOVEA的色度共聚焦技术提供了横向精度,这是由物理学决定的,与光学传感器的色度光源的光斑大小直接相关。

其他

NANOVEA

激光扫描共聚焦显微镜

VS

色光传感器

健康危害

暴露于激光的反射率

安全白光

无需穿戴防护服

不一致的激光光波长

扫描过程中的波长不一致影响结果的准确性

均匀而广泛的白光光谱

波长的变化是正在收集的数据

欺骗性的 "显示决议"。

横向和高度精度由物镜固定。 使得 "显示分辨率 "变得无足轻重

独立的侧向和高度精度

横向和高度精度可以混合和匹配,以满足广泛的扫描要求

复杂的算法

阿尔法混合算法将收集到的数据逐层缝合,为复杂的计算提供了准确的基础。

没有算法

直接测量从表面反射的物理波长,以获得准确的代表性高度图

需要缝合

物镜具有有限的固定视场。 较大区域的缝合影响了扫描的准确性

无缝隙

连续收集数据点,为小区域和大区域提供相同的准确性。

减速50倍

数据采集速度高达7.9KHz

50倍的速度

数据采集速度最高可达384KHz

让我们来扫描一枚硬币

横向精度

其他

NANOVEA

50x目标

VS

高速传感器 (950 μm)

用于50x物镜(370 x 277 µm)。

测量值的±2%

±2% x 370 µm

≈15 µm

采用缝合算法 >> 15 µm

步幅大小。

≈5 µm

最高限度:0.9微米

3倍的横向准确度

高度的准确性

其他

NANOVEA

50x目标

VS

高速传感器 (950 μm)

≈ 0.2 + L/100 µm

≈ 0.2 + 950/100 µm

9.7 µm

950 µm范围

≈ 0.6 µm

最高限度:0.014微米

16倍的高度精确性

测试区域

其他

NANOVEA

50x目标

VS

高速传感器 (950 μm)

需要缝合

#扫描件 (25 x 25 mm)

25 000 微米 / 370 微米 x 25 000 微米 / 277 微米

68 x 91

= 6188次扫描

无缝隙

任何测量尺寸均具有一致的精度

1 扫描

测试时间

其他

NANOVEA

50x目标

VS

高速传感器 (950 μm)

每次扫描6秒

+ 4秒位移和缝合

= 10秒/扫描 x 6188次扫描

= 61880秒 (≈17小时)

扫描时间(25×25毫米)

=29.6秒

2090倍的速度

体验轮廓测量的未来

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