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AR 월간 아카이브: 3월 2018
실리콘 카바이드 웨이퍼 코팅의 기계적 특성
실리콘 카바이드 웨이퍼 코팅의 기계적 특성을 이해하는 것은 매우 중요합니다. 마이크로 전자 장치의 제조 공정에는 300개 이상의 다양한 공정 단계가 포함될 수 있으며 6주에서 8주까지 소요될 수 있습니다. 이 과정에서 웨이퍼 기판은 어느 한 단계라도 실패하면 시간과 비용 손실로 이어지기 때문에 극한의 제조 조건을 견딜 수 있어야 합니다. 테스트 대상 경도웨이퍼의 접착력/스크래치 저항성 및 COF/마모율은 제조 및 적용 과정에서 부과되는 조건을 견뎌내고 고장이 발생하지 않도록 특정 요구 사항을 충족해야 합니다.
3D 프로파일 측정을 이용한 웨이퍼 코팅 두께 측정
웨이퍼 코팅 두께 측정은 매우 중요합니다. 실리콘 웨이퍼는 다양한 산업 분야에서 사용되는 집적 회로 및 기타 마이크로 디바이스 제작에 널리 사용됩니다. 더 얇고 매끄러운 웨이퍼와 웨이퍼 코팅에 대한 지속적인 수요로 인해 나노비아 3D는 비접촉식 프로파일 미터 는 거의 모든 표면의 코팅 두께와 거칠기를 정량화할 수 있는 훌륭한 도구입니다. 이 글의 측정은 3D 비접촉 프로파일로미터의 기능을 보여주기 위해 코팅된 웨이퍼 샘플에서 수행되었습니다.
