プロフィロメーター

1回のスキャンで、3次元のうねり、粗さ、段差、膜厚からフラクタル解析、微細構造・粒子の特性評価まで、幅広い測定が可能です。

色収差の大きいレンズを通過した白色光を利用する技術です。各波長はそれぞれ異なる距離に焦点を結び、垂直方向の測定範囲を作り出します。その範囲内に測定対象物がある場合、白色光は1つの波長に焦点を結び、他の波長は焦点から外れます。焦点の合った波長だけがピンホールフィルターを通過してCCDスペクトロメーターに到達します。測定された物理的な波長は、垂直方向の位置に対応すします。