Bezdotykowy profilometr 3D

Jeden skan profilometrem daje szeroki zakres pomiarów: od falistości 3D, chropowatości, wysokości stopnia i/lub grubości warstwy po zaawansowaną analizę fraktalną i charakteryzację mikrostruktury i cząstek.

W technologii chromatycznej konfokalnej światło białe przechodzi przez układ soczewek o silnej aberracji chromatycznej. Każda długość fali ogniskuje się w innej odległości, tworząc pionowy zakres pomiarowy. Gdy badana powierzchnia znajduje się w tym zakresie, ostra jest tylko jedna długość fali światła białego, a wszystkie pozostałe są nieostre. Tylko zogniskowana długość fali przechodzi przez przesłonę otworkową i dociera do spektrometru CCD. Zmierzona długość fali odpowiada położeniu w pionie.