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O perfilômetro óptico NANOVEA é um perfilômetro 3D sem contato projetado com a tecnologia confocal cromática, que usa os comprimentos de onda da luz para determinar com precisão a altura física. Os perfilômetros ópticos NANOVEA incluem modelos compactos, independentes e portáteis. Há sensores de alta velocidade para escanear grandes superfícies com alta exatidão.
Com uma única varredura do perfilômetro, é possível obter uma ampla gama de medições, como ondulação 3D, rugosidade, altura de degrau e/ou espessura de filme, até análise fractal avançada e caracterização de microestruturas e partículas.
A tecnologia confocal cromática usa luz branca que passa por uma série de lentes com alto grau de aberração cromática. Cada comprimento de onda é focalizado a uma distância diferente, criando a faixa de medição vertical. Quando a superfície de interesse está dentro dessa faixa, apenas um comprimento de onda da luz branca fica em foco, enquanto todos os outros ficam fora de foco. Somente o comprimento de onda focalizado passa pelo filtro pinhole e chega ao espectrômetro CCD. O comprimento de onda medido corresponde a uma posição vertical.
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Um perfilômetro é um instrumento que mede a altura de uma superfície, ao longo de uma linha (perfil 2D) ou sobre uma área (mapa 3D), para quantificar sua rugosidade, textura, forma, alturas de degrau, planicidade e volume. Os perfilômetros de contato, ou de apalpador, percorrem a superfície com uma ponta de diamante. Os perfilômetros ópticos, também chamados perfiladores ópticos, medem com luz, sem tocar a superfície.
Todo perfilômetro NANOVEA é um perfilômetro óptico 3D sem contato baseado em sensores confocais cromáticos de luz branca. Cada comprimento de onda da luz branca foca em uma altura diferente, e o comprimento de onda em foco dá diretamente a altura de cada ponto. Os mesmos sensores medem superfícies transparentes, refletivas, escuras e íngremes, até 87°, com resolução vertical máxima de 1 nm, e varrem grandes áreas de forma contínua, sem stitching.
Todos os perfilômetros registram alturas de superfície, mas a forma como detectam a superfície define o que conseguem medir. O guia de medição de rugosidade superficial compara os tipos em mais detalhe.
Um perfilômetro de apalpador toca a superfície, por isso o resultado depende do raio da ponta e da força de contato, e materiais macios, pegajosos ou delicados podem ser riscados ou deformados. Um perfilômetro óptico mede sem contato: nada se desgasta, nada marca a amostra, e um mapa 3D completo se torna prático, como exigem os parâmetros de rugosidade de área (ISO 25178).
Os sensores confocais cromáticos mantêm os pontos fortes do apalpador que outros métodos ópticos perdem: medem igualmente superfícies rugosas, íngremes e refletivas e não dependem de um algoritmo de reconstrução. A altura é lida diretamente, ponto a ponto, em metais, polímeros, vidro, revestimentos e materiais biológicos.
A luz branca atravessa uma lente com forte aberração cromática, de modo que cada comprimento de onda foca a uma distância diferente. Só o comprimento de onda focado exatamente na superfície volta nítido através de um orifício (pinhole) até um espectrômetro, e esse comprimento de onda dá a altura. Sensores de ponto medem um ponto por vez; os sensores de linha NANOVEA medem 192 pontos ao mesmo tempo, até 384.000 pontos por segundo. A página sobre a tecnologia confocal cromática explica o princípio em detalhe.
Todos os modelos usam os mesmos sensores confocais cromáticos, então um método desenvolvido em um se transfere para os outros. A escolha depende do tamanho da amostra, de onde a medição acontece e da velocidade necessária. Para escolher passo a passo, veja Qual perfilômetro eu preciso?
| Modelo | Tipo | Área e velocidade de varredura | Sensores | Ideal para |
|---|---|---|---|---|
| PS50 | Compacto de bancada | Mesa motorizada de 50 x 50 mm, 20 mm/s | Sensores de ponto PS1 a PS6 | Amostras pequenas e uma bancada de laboratório compacta |
| JR25 | Portátil, 5,3 kg | 25 x 25 mm, 20 mm/s, cabeçote de varredura rotativo | Sensores de ponto PS1 a PS6 | Medição em campo de peças e estruturas que não podem ser movidas, inclusive superfícies inclinadas |
| JR100 | Portátil de alta velocidade, 17 kg | 100 x 100 mm, varreduras contínuas de 100 mm sem stitching | Sensores de ponto, ou um sensor de linha de até 384.000 pontos/s (JR100L) | Grandes áreas em campo ou junto à linha de produção |
| ST400 | Modular de bancada | Mesa motorizada de 200 x 150 mm, 40 mm/s, altura de amostra até 190 mm | De ponto (PS1 a PS6) e de linha de alta velocidade (LS1 a LS3) | O sistema de laboratório padrão para pesquisa e controle de qualidade, com opções rotacionais e para cilindros |
| ST500 | Grandes áreas | Mesa motorizada de 400 x 400 mm, 200 mm/s, varreduras contínuas de 400 mm | De ponto (PS1 a PS6) e de linha de alta velocidade (LS1 a LS3) | Peças grandes, muitas amostras de uma vez e controle de qualidade automatizado |
| AFM Pro | Perfilador óptico + AFM + videomicroscópio | Mesa óptica de 200 x 150 mm; varreduras AFM de 110 µm com resolução lateral de 1,7 nm | Sensores de ponto e de linha mais um microscópio de força atômica | Rugosidade em escala nanométrica e mapas de grandes áreas em uma só plataforma |
| Perfilador em linha | Integração na linha de produção | Inspeção por disparo ou contínua, mais de 1.300.000 pontos/s | Vários sensores cromáticos, Pass & Fail por sensor ou pela média | Inspeção de 100% das superfícies durante a produção |
| Especificação | PS1 | PS2 | PS3 | PS4 | PS5 | PS6 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Faixa máxima de altura | 110 µm | 300 µm | 1.1 mm | 3.5 mm | 10 mm | 24 mm |
| Distância de trabalho | 3.3 mm | 10.8 mm | 12.2 mm | 16.5 mm | 26.6 mm | 20 mm |
| Precisão lateral X-Y | 0.8 µm | 1.7 µm | 2.6 µm | 4.6 µm | 11.0 µm | 11.0 µm |
| Repetibilidade em altura | 1.9 nm | 5.4 nm | 15.8 nm | 31.6 nm | 117.0 nm | 237.2 nm |
Repetibilidade em altura: medição em ponto fixo sobre vidro, variação média de altura Ra em 1.200 pontos (100 amostragens).
| Especificação | LS1 | LS2 | LS3 |
|---|---|---|---|
| Faixa máxima de altura | 200 µm | 0.95 mm | 3.9 mm |
| Distância de trabalho | 5.3 mm | 18.5 mm | 41 mm |
| Repetibilidade em altura (Ra) | 14 nm | 21 nm | 70 nm |
| Largura da linha | 0.96 mm | 1.91 mm | 4.78 mm |
| Passo | 5 µm | 10 µm | 25 µm |
| Precisão lateral de cada ponto | 1 µm | 2 µm | 5 µm |
| Taxa de aquisição | 384 kHz | 384 kHz | 384 kHz |
Repetibilidade em altura: medição em ponto fixo sobre vidro, variação média de altura Ra em 1.200 pontos (100 amostragens).
Rugosidade e acabamento
Ra, Rz e parâmetros de área ISO 25178 (Sa, Sq, Sz, Spk, Svk), de um perfil a um mapa 3D completo.
Textura e grão
Direção da textura, isotropia, tamanho de grão e padrões periódicos.
Geometria e forma
Dimensões, contornos, raios e ângulos a partir do mapa 3D.
Altura de degrau e espessura
Degraus e espessura de filmes e revestimentos, inclusive camadas transparentes.
Volume e área
Volume de trilhas de desgaste, pites e saliências, e área de superfície desenvolvida.
Planicidade e empenamento
Planicidade ISO 12781 e empenamento em toda a superfície.
A altura da superfície, a partir da qual calcula a rugosidade (Ra, Rz, Sa, Sq), a textura, a forma e as dimensões, as alturas de degrau e a espessura de filmes, o volume e a área superficial, e a planicidade. Um perfilômetro 2D mede ao longo de uma linha; um perfilômetro 3D mapeia uma área.
Nenhuma: os dois nomes descrevem o mesmo instrumento sem contato, que mede a topografia da superfície com luz. Perfilador óptico 3D, perfilômetro sem contato e perfilômetro 3D de superfície são outros nomes do mesmo instrumento.
Na maioria dos casos, sim: não toca nem marca a amostra, mapeia áreas rápido o suficiente para os parâmetros de área ISO 25178 e mede materiais macios, pegajosos e delicados. O apalpador continua comum em verificações de rugosidade 2D quando uma especificação o exige. Veja a medição de rugosidade superficial para uma comparação completa.
Os sensores confocais cromáticos NANOVEA atingem resolução vertical máxima de 1 nm, com repetibilidade em altura de 1,9 nm no sensor de ponto mais fino (PS1, faixa de 110 µm) a 237,2 nm no sensor de 24 mm de faixa (PS6). Escolha o sensor cuja faixa cubra apenas a variação de altura da superfície.
Um perfilômetro confocal cromático, sim: ele lê o comprimento de onda em foco, e não a quantidade de luz que retorna, então vidro, metais polidos, materiais escuros e filmes transparentes são medidos sem preparação, em inclinações de até 87°. Através de uma camada transparente, mede também sua espessura.
Leve a amostra a um sistema de bancada (PS50, ST400, ST500) quando ela puder ser cortada ou movida; leve um equipamento portátil (JR25, JR100) a peças, conjuntos ou estruturas que não podem ser movidos. Qual perfilômetro eu preciso? orienta a escolha.
Depende da base, dos sensores e das opções, pois cada perfilômetro NANOVEA é fabricado sob encomenda para sua aplicação. Solicite um orçamento descrevendo suas amostras, ou envie primeiro amostras ao laboratório para confirmar a medição.
