Perfilômetro 3D sem contato

O perfilômetro óptico NANOVEA é um perfilômetro 3D sem contato projetado com a tecnologia confocal cromática, que usa os comprimentos de onda da luz para determinar com precisão a altura física. Os perfilômetros ópticos NANOVEA incluem modelos compactos, independentes e portáteis. Há sensores de alta velocidade para escanear grandes superfícies com alta exatidão.

Com uma única varredura do perfilômetro, é possível obter uma ampla gama de medições, como ondulação 3D, rugosidade, altura de degrau e/ou espessura de filme, até análise fractal avançada e caracterização de microestruturas e partículas.

A tecnologia confocal cromática usa luz branca que passa por uma série de lentes com alto grau de aberração cromática. Cada comprimento de onda é focalizado a uma distância diferente, criando a faixa de medição vertical. Quando a superfície de interesse está dentro dessa faixa, apenas um comprimento de onda da luz branca fica em foco, enquanto todos os outros ficam fora de foco. Somente o comprimento de onda focalizado passa pelo filtro pinhole e chega ao espectrômetro CCD. O comprimento de onda medido corresponde a uma posição vertical.

MODELOS DE PERFILÔMETROS ÓPTICOS NANOVEA

Perfilômetro portátil compacto JR25

Portátil

Compacto

Perfilômetro portátil de alta velocidade JR100

Portátil

Alta velocidade

Perfilômetro ST400

Modular

Padrão

Perfilômetro modular de alta velocidade ST500

Modular

Grande área

Não sabe qual perfilômetro você precisa? Compare a linha em nosso guia de compra

O que é um perfilômetro?

Um perfilômetro é um instrumento que mede a altura de uma superfície, ao longo de uma linha (perfil 2D) ou sobre uma área (mapa 3D), para quantificar sua rugosidade, textura, forma, alturas de degrau, planicidade e volume. Os perfilômetros de contato, ou de apalpador, percorrem a superfície com uma ponta de diamante. Os perfilômetros ópticos, também chamados perfiladores ópticos, medem com luz, sem tocar a superfície.

Todo perfilômetro NANOVEA é um perfilômetro óptico 3D sem contato baseado em sensores confocais cromáticos de luz branca. Cada comprimento de onda da luz branca foca em uma altura diferente, e o comprimento de onda em foco dá diretamente a altura de cada ponto. Os mesmos sensores medem superfícies transparentes, refletivas, escuras e íngremes, até 87°, com resolução vertical máxima de 1 nm, e varrem grandes áreas de forma contínua, sem stitching.

Tipos de perfilômetros

Todos os perfilômetros registram alturas de superfície, mas a forma como detectam a superfície define o que conseguem medir. O guia de medição de rugosidade superficial compara os tipos em mais detalhe.

  • Perfilômetro de apalpador (contato). Uma ponta de diamante é arrastada sobre a superfície. Método consagrado e barato, mas lento para mapas 3D; pode marcar superfícies macias ou frágeis e não resolve detalhes mais estreitos que a ponta.
  • Interferometria de luz branca. Resolução em altura muito alta em superfícies lisas, forte em degraus na microeletrônica. O campo de visão é limitado, áreas maiores exigem stitching e o método é sensível a vibrações e a superfícies que refletem pouca luz.
  • Triangulação a laser. Rápida e adequada a superfícies rugosas e peças maiores; a precisão depende do material e de os detalhes íngremes não esconderem o ponto de laser.
  • Variação de foco e microscopia confocal. Reconstroem a superfície a partir de planos de foco ou cortes ópticos. Rápidas em campos pequenos e boas em inclinações, com as áreas grandes unidas por stitching; a variação de foco precisa de textura superficial para encontrar o foco.
  • Confocal cromático de luz branca. Lê a altura pelo comprimento de onda em foco, em qualquer material, inclusive superfícies transparentes, escuras e íngremes, e varre grandes áreas de forma contínua. É a tecnologia de todos os perfilômetros NANOVEA.
  • Microscopia de força atômica (AFM). A melhor resolução lateral de todas, em áreas de dezenas de micrômetros, para superfícies polidas e nanoestruturadas. O AFM Pro da NANOVEA a combina com um perfilador óptico.

Perfilômetro óptico ou perfilômetro de apalpador

Um perfilômetro de apalpador toca a superfície, por isso o resultado depende do raio da ponta e da força de contato, e materiais macios, pegajosos ou delicados podem ser riscados ou deformados. Um perfilômetro óptico mede sem contato: nada se desgasta, nada marca a amostra, e um mapa 3D completo se torna prático, como exigem os parâmetros de rugosidade de área (ISO 25178).

Os sensores confocais cromáticos mantêm os pontos fortes do apalpador que outros métodos ópticos perdem: medem igualmente superfícies rugosas, íngremes e refletivas e não dependem de um algoritmo de reconstrução. A altura é lida diretamente, ponto a ponto, em metais, polímeros, vidro, revestimentos e materiais biológicos.

Como funciona um perfilômetro confocal cromático

A luz branca atravessa uma lente com forte aberração cromática, de modo que cada comprimento de onda foca a uma distância diferente. Só o comprimento de onda focado exatamente na superfície volta nítido através de um orifício (pinhole) até um espectrômetro, e esse comprimento de onda dá a altura. Sensores de ponto medem um ponto por vez; os sensores de linha NANOVEA medem 192 pontos ao mesmo tempo, até 384.000 pontos por segundo. A página sobre a tecnologia confocal cromática explica o princípio em detalhe.

Comparação dos perfilômetros ópticos NANOVEA

Todos os modelos usam os mesmos sensores confocais cromáticos, então um método desenvolvido em um se transfere para os outros. A escolha depende do tamanho da amostra, de onde a medição acontece e da velocidade necessária. Para escolher passo a passo, veja Qual perfilômetro eu preciso?

ModeloTipoÁrea e velocidade de varreduraSensoresIdeal para
PS50Compacto de bancadaMesa motorizada de 50 x 50 mm, 20 mm/sSensores de ponto PS1 a PS6Amostras pequenas e uma bancada de laboratório compacta
JR25Portátil, 5,3 kg25 x 25 mm, 20 mm/s, cabeçote de varredura rotativoSensores de ponto PS1 a PS6Medição em campo de peças e estruturas que não podem ser movidas, inclusive superfícies inclinadas
JR100Portátil de alta velocidade, 17 kg100 x 100 mm, varreduras contínuas de 100 mm sem stitchingSensores de ponto, ou um sensor de linha de até 384.000 pontos/s (JR100L)Grandes áreas em campo ou junto à linha de produção
ST400Modular de bancadaMesa motorizada de 200 x 150 mm, 40 mm/s, altura de amostra até 190 mmDe ponto (PS1 a PS6) e de linha de alta velocidade (LS1 a LS3)O sistema de laboratório padrão para pesquisa e controle de qualidade, com opções rotacionais e para cilindros
ST500Grandes áreasMesa motorizada de 400 x 400 mm, 200 mm/s, varreduras contínuas de 400 mmDe ponto (PS1 a PS6) e de linha de alta velocidade (LS1 a LS3)Peças grandes, muitas amostras de uma vez e controle de qualidade automatizado
AFM ProPerfilador óptico + AFM + videomicroscópioMesa óptica de 200 x 150 mm; varreduras AFM de 110 µm com resolução lateral de 1,7 nmSensores de ponto e de linha mais um microscópio de força atômicaRugosidade em escala nanométrica e mapas de grandes áreas em uma só plataforma
Perfilador em linhaIntegração na linha de produçãoInspeção por disparo ou contínua, mais de 1.300.000 pontos/sVários sensores cromáticos, Pass & Fail por sensor ou pela médiaInspeção de 100% das superfícies durante a produção

Especificações dos sensores confocais cromáticos

Sensores cromáticos padrão (ponto único)

EspecificaçãoPS1PS2PS3PS4PS5PS6
Faixa máxima de altura110 µm300 µm1.1 mm3.5 mm10 mm24 mm
Distância de trabalho3.3 mm10.8 mm12.2 mm16.5 mm26.6 mm20 mm
Precisão lateral X-Y0.8 µm1.7 µm2.6 µm4.6 µm11.0 µm11.0 µm
Repetibilidade em altura1.9 nm5.4 nm15.8 nm31.6 nm117.0 nm237.2 nm

Repetibilidade em altura: medição em ponto fixo sobre vidro, variação média de altura Ra em 1.200 pontos (100 amostragens).

Sensores cromáticos de linha de alta velocidade (192 pontos)

EspecificaçãoLS1LS2LS3
Faixa máxima de altura200 µm0.95 mm3.9 mm
Distância de trabalho5.3 mm18.5 mm41 mm
Repetibilidade em altura (Ra)14 nm21 nm70 nm
Largura da linha0.96 mm1.91 mm4.78 mm
Passo5 µm10 µm25 µm
Precisão lateral de cada ponto1 µm2 µm5 µm
Taxa de aquisição384 kHz384 kHz384 kHz

Repetibilidade em altura: medição em ponto fixo sobre vidro, variação média de altura Ra em 1.200 pontos (100 amostragens).

O que os perfilômetros NANOVEA medem

Normas

  • ISO 25178
  • ISO 4287
  • ISO 13565
  • ISO 12085
  • ISO 12780
  • ISO 12781
  • ISO 12181

Perfilômetros: perguntas frequentes

O que um perfilômetro mede?

A altura da superfície, a partir da qual calcula a rugosidade (Ra, Rz, Sa, Sq), a textura, a forma e as dimensões, as alturas de degrau e a espessura de filmes, o volume e a área superficial, e a planicidade. Um perfilômetro 2D mede ao longo de uma linha; um perfilômetro 3D mapeia uma área.

Qual a diferença entre perfilador óptico e perfilômetro óptico?

Nenhuma: os dois nomes descrevem o mesmo instrumento sem contato, que mede a topografia da superfície com luz. Perfilador óptico 3D, perfilômetro sem contato e perfilômetro 3D de superfície são outros nomes do mesmo instrumento.

Um perfilômetro óptico é melhor que um de apalpador?

Na maioria dos casos, sim: não toca nem marca a amostra, mapeia áreas rápido o suficiente para os parâmetros de área ISO 25178 e mede materiais macios, pegajosos e delicados. O apalpador continua comum em verificações de rugosidade 2D quando uma especificação o exige. Veja a medição de rugosidade superficial para uma comparação completa.

Qual é a precisão de um perfilômetro óptico 3D?

Os sensores confocais cromáticos NANOVEA atingem resolução vertical máxima de 1 nm, com repetibilidade em altura de 1,9 nm no sensor de ponto mais fino (PS1, faixa de 110 µm) a 237,2 nm no sensor de 24 mm de faixa (PS6). Escolha o sensor cuja faixa cubra apenas a variação de altura da superfície.

Um perfilômetro mede superfícies transparentes, refletivas ou escuras?

Um perfilômetro confocal cromático, sim: ele lê o comprimento de onda em foco, e não a quantidade de luz que retorna, então vidro, metais polidos, materiais escuros e filmes transparentes são medidos sem preparação, em inclinações de até 87°. Através de uma camada transparente, mede também sua espessura.

Preciso de um perfilômetro portátil ou de bancada?

Leve a amostra a um sistema de bancada (PS50, ST400, ST500) quando ela puder ser cortada ou movida; leve um equipamento portátil (JR25, JR100) a peças, conjuntos ou estruturas que não podem ser movidos. Qual perfilômetro eu preciso? orienta a escolha.

Quanto custa um perfilômetro?

Depende da base, dos sensores e das opções, pois cada perfilômetro NANOVEA é fabricado sob encomenda para sua aplicação. Solicite um orçamento descrevendo suas amostras, ou envie primeiro amostras ao laboratório para confirmar a medição.