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本報告では、マグネトロンスパッタリング法により成膜したTi-WS2コーティングのトライボロジー特性について概説する。摩擦・摩耗 トライボロジー をトライボメータで往復運動させ、一体型光学式プロファイラで摩耗量を求めます。

Ti-WS2膜のトライボロジー特性評価

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