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半導体トップメーカーが数ある中からナノベアプロフィロメーターを選択

2009 年 3 月 5 日カリフォルニア州アーバイン - ナノベアは本日、トップクラスの半導体メーカーに HS1000 プロフィロメ ータを初めて出荷することを発表しました。HS1000 は、ナノベアの光学式プロファイラの歴史に新たなハイライトを加えるとともに、高スループットの要求に応えるためにより高度な測定速度オプションを顧客に提供するものです。ナノベアの HS1000 プロフィロメータは、測定速度、自動化、ナノメータ分解能の比類ない組み合わせを備えています。ナノベアの HS1000 プロフィロメータが登場するまで、完全自動化と白色光軸色相技術の独自の利点は、単一の高速走査速度装置ではほとんど見られず、お客様の要望とナノベアだけが提供できる機能でした。従来の高速測定器では、速度や分解能など、ある機能を犠牲にすることで、ユーザー全体の測定能力を制限することが一般的でした。HS1000 プロフィロメーターのステージ速度は 1m/s に達し、同クラスの光学式プロファイラの最大 50 倍の速さです。HS1000 プロフィロメータは、31KHz の白色光軸色相センサと 400mm x 600mm の XY 測定エリアを備えており、最大ステージ速度では 32μm 毎に 1 ポイント、400mm 全体を 1 秒未満で測定できます（ステージ速度を遅くすれば、より高い分解能を得ることが可能です）。さらに、HS1000にはマシンビジョンカメラのオプションがあり、ユーザーがほとんど操作することなく、正確に選ばれた表面の特徴を自動認識することができます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアとマシンビジョンカメラ（オプション）により、表面を自動的にスキャンし、対象となるすべての形状を認識することができます。これらの特徴は、自動的に測定されるか、またはユーザーが測定するものをリストから選択することができます。HS1000 は、全体的に優れた機能を兼ね備えています。 プロフィロメーター 半導体、太陽電池、製薬業界における高スループットの要求に対して、間違いなく最適な装置です。「このような重要な機会を与えてくれたチームの能力を誇りに思います。このような重要な機会を与えてくれたチームの能力を誇りに思います」とナノベア社のプロダクト・マネージャーであるクレイグ・ライジングは述べています。