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マイクロフォトニクスの新しいマルチペンタレットは、1つのアセンブリで9つのセンサーオプションを提供します。

2006 年 7 月 7 日、カリフォルニア州アーバイン発 - Micro Photonics Inc.は、クロマティックコンフォーカル測定の柔軟性を高める新しいマルチ光学ペンタレッ トを発表しました。プロフィロメータにマルチオプティカルペンタレットを搭載することにより、ペンの取り外しや追加に時間をかけることなく、迅速かつ容易に光学ペンを交換することができます。3種類の拡大鏡と3種類のクロマチックレンズから構成されるマルチ光学ペンタレットは、1つのアセンブリで最大9種類の光学センサーを提供します。このタレットは、新規または既存のナノベアプロフィロメータ3D光学式非接触光学式プロファイラに簡単に組み込むことができます。ペンの組み合わせは、マイクロフォトニクスが提供する30種類以上のセンサーから選択できます。焦点距離3.3mmから29mmまでの5種類の拡大鏡と、130μmから27mmまでの6種類のクロマチックレンズから選択可能です。ペンの組み合わせにより、最大軸分解能5 nm、精度20 nm、最大傾斜角87°（拡散性物体）の測定が可能です。このナノベアマイクロメジャーのオプションは、マイクロフォトニクス社からのみ提供されています。マイクロフォトニクス社は、1992年以来、材料技術装置とラボ試験のリーディングプロバイダーとして活動しています。同社が専門としているのはナノ・マイクロ機械試験、X線マイクロトモグラフィー、エリプソメトリー、X線回折、3D非接触試験 プロフィロメーター薄膜分析、バイオイメージング機器、NSOM、SPM、AFMシステムなど。