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マイクロフォトニクス、デュアルスキャニングプロフィロメータとスキャニング測定器を発表

2005年1月25日、カリフォルニア州アーバイン - Micro Photonics Inc.は、本日、表面材料試験装置の最新ラインアップを発表しました。デュアル・スキャニング・プロフィロメータは、この種のものとしては初めて、厚みとデュアル・プロフィロメトリの同時スキャンを可能にしたものです。2本のペンの間のプラットフォームに固定された試料ステージは、x-y方向に移動し、2つのプローブが同期して表面形状を決定します。システムソフトウェアは、ペン間の既知の距離と、試料表面から反射された入射白色光の波長を計算し、任意の点での試料の厚さを決定します。色収差の原理を利用して、2本のペンが白色光を対物レンズに通し、その光を試料表面で反射させます。そして、レンズは入射した白色光の波長を集め、レンズからの距離を変化させながら再集束させます。この独自の技術は、マイクロフォトニクス社から提供されています。マイクロフォトニクス社は、12年以上にわたって材料技術機器とラボ試験のリーディングサプライヤとして活躍しています。同社が専門としているのはナノ・マイクロ機械試験、X線マイクロトモグラフィー、エリプソメトリー、X線回折、3D非接触検査 プロフィロメーター薄膜分析、バイオイメージング機器、NSOM、SPM、AFMシステムなど。