PROFILOMETER
Der NANOVEA Optical Profiler ist ein berührungsloses 3D-Profilometer, das mit Chromatisch Konfokal Technologie, die Wellenlängen von Licht zur genauen Bestimmung der physikalischen Höhe nutzt. Die von NANOVEA angebotenen optischen Profilometer umfassen kompakte, eigenständige und tragbare Modelle. Hochgeschwindigkeitssensoren sind verfügbar, um große Oberflächen mit hoher Genauigkeit zu scannen.
Mit einem einzigen Profilometerscan kann eine Vielzahl von Messungen durchgeführt werden, wie z. B. 3D-Welligkeit, Rauheit, Stufenhöhe und/oder Schichtdicke, bis hin zu fortgeschrittener Fraktalanalyse und Charakterisierung von Mikrostruktur und Partikeln.
Bei der chromatischen Konfokaltechnik wird weißes Licht verwendet, das durch eine Reihe von Linsen mit einem hohen Grad an chromatischen Aberrationen fällt. Jede Wellenlänge wird in einer anderen Entfernung fokussiert, wodurch der vertikale Messbereich entsteht. Befindet sich eine zu untersuchende Oberfläche innerhalb dieses Bereichs, wird eine einzelne Wellenlänge des weißen Lichts fokussiert, während alle anderen unscharf sind. Nur die fokussierte Wellenlänge gelangt durch den Nadellochfilter in das CCD-Spektrometer. Die gemessene physikalische Wellenlänge entspricht einer vertikalen Position.