轮廓仪

NANOVEA光学轮廓仪是一款三维、非接触式的轮廓仪，采用色谱共聚焦技术，它使用光的波长来准确地确定物理高度。NANOVEA提供的光学轮廓仪包括紧凑型、大尺寸和便携式的轮廓仪。高速传感器可用于高精度大范围的表面扫描。

通过一次轮廓扫描，可以获得各种测量结果，如波纹度度、粗糙度、阶梯高度和/或薄膜厚度，以及高级分形维数分析和微结构/颗粒统计。

色谱共焦技术使用白光，通过一系列具有高度色差的镜片。每个波长将在不同的距离聚焦，形成垂直测量范围。当测试的表面在该范围内时，白光的一个波长将被聚焦，而所有其他波长将不被聚焦。只有聚焦的波长才能通过针孔滤光片到达CCD光谱仪。测量的物理波长对应于一个垂直位置。