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三维非接触式 轮廓仪 将用于描述 表面积测量 两个带有A1SiN涂层的样品,一个是低含量的硅,另一个是高含量的。A1SiN涂层通过磁控溅射沉积在H13钢上,然后提交给氧化测试(900℃-1小时)。

表面积的测量 氧化作用 采用三维轮廓测量法

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