عدم الاتصال ثلاثي الأبعاد مقياس الملامح سيتم استخدامها لتوصيف قياس مساحة السطح من عينتين مع طلاءات A1SiN، إحداهما بمستوى منخفض من السيليكون والأخرى بمستوى عالٍ. تم ترسيب طلاء A1SiN على الفولاذ H13 بواسطة رش المغنطرون ثم تقديمه لاختبار مقاومة الأكسدة (900 درجة مئوية - ساعة واحدة).

قياس مساحة السطح أكسدة مع ملف تعريف ثلاثي الأبعاد