表面段差測定｜深さ・厚み

クロマティックコンフォーカルは、60nmから20mmまでのステップハイトを正確に測定するのに最適な手法です。この技術の利点は、コーティングから基板に移行する際に見られるような、反射率やテクスチャーの大きな変化に影響されないことにあります。光学的透明層の厚みも、同様の分解能と範囲（7μm以上）で測定することが可能です。

規格です。

• ISO 5436-1

標準測定分析。

• ポイント・トゥ・ポイント
• 飛行機から飛行機へ
• 最大、最小、平均の高さ
• 厚みの3Dまたは2Dマップ
• 厚み分布曲線

ソフトウェアの特徴

• ラインスキャンやエリアスキャンを簡単に定義できる
• レシピ
• 横分解能
• 生データと画像のエクスポート
• リアルタイム表示
• 自動報告
• 多言語対応
• 地図作成

解析ソフトの特徴。

• フィルタリング
• レベリング
• 閾値処理
• ズーム
• 領域選択ツール、フォーム削除ツール
• 引き算、比較関数など多数

高度な自動化。

• オートフォーカス（光学・顕微鏡）、自動解析テンプレート
• マルチサンプルハンドリングマクロ
• プロファイリングやAFM検査において、顕微鏡下のエリアを簡単に選択可能
• 反射率の異なる表面への自動2周波対応
• 回転式ステージ
• パターン認識
• データベース通信
• 合格・不合格の制限
• 最大200倍の高速測定を実現するラインセンサー

サンプル（s）ホルダーと環境条件。

• カスタム/スタンダードサンプルホルダー
• 加熱ステージ

その他の表面測定値。

表面粗さ測定

表面形状測定

表面形状測定

表面平坦度測定

表面積測定