MESSUNG DER STUFENHÖHE DER OBERFLÄCHE | TIEFE & DICKE

Die chromatisch konfokale Technik bietet die beste Genauigkeit bei der Messung von Schichthöhen von 60 nm bis 20 mm. Der Vorteil dieser Technik zur genauen Messung der Dicke liegt darin, dass die chromatische Konfokaltechnik nicht durch große Änderungen des Reflexionsvermögens oder der Textur beeinflusst wird, wie sie manchmal beim Übergang von einer Beschichtung zu ihrem Substrat auftreten. Die Dicke einer optisch transparenten Schicht kann ebenfalls mit ähnlicher Auflösung und Reichweite (> 7μm) gemessen werden.

Normen:

• ISO 5436-1

Analyse von Standardmessungen:

• Punkt zu Punkt
• Von Flugzeug zu Flugzeug
• Maximale, minimale und mittlere Höhen
• 3D- oder 2D-Karte der Dicke
• Kurve der Dickenverteilung

Software-Merkmale:

• Einfach zu definierende Linien- oder Flächenscans
• Rezepte
• Seitliche Auflösung
• Rohdaten und Bilder exportieren
• Anzeige in Echtzeit
• Automatische Berichterstattung
• Unterstützung mehrerer Sprachen
• Kartierung

Analyse-Software-Funktionen:

• Filtern
• Nivellierung
• Schwellenwert
• Zoomen
• Werkzeuge zur Bereichsauswahl und Formularentfernung
• Subtraktions- und Vergleichsfunktionen und viele andere

Erweiterte Automatisierung:

• Automatischer Fokus (optisch und mikroskopisch), automatische Analyseschablone
• Makros zur Handhabung mehrerer Proben
• Einfache Auswahl des Bereichs unter dem Mikroskop für die Profilerstellung oder AFM-Prüfung
• Automatische Doppelfrequenz für Oberflächen mit unterschiedlichen Reflexionsgraden
• Rotationsphase
• Mustererkennung
• Datenbank-Kommunikation
• Pass/Fail-Grenzen
• Zeilensensoren für bis zu 200-mal schnellere Messungen

Halter der Probe(n) und Umweltbedingungen:

• Kundenspezifische und Standard-Probenhalter
• Heizstufe

Zusätzliche Oberflächenabmessungen:

Messung der Oberflächenrauhigkeit

Messung des Oberflächenprofils

Messung der Oberflächentopographie

Messung der Oberflächenebenheit

Messung des Oberflächenvolumens