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自動光学検査装置
優れたクロマティックコンフォーカル技術による最先端光学系を搭載したナノベアオートメーテッドオプティカルインスペクション（AOI）です。ビジョンやレーザーを用いた光学検査装置と比較して、より幅広い形状や材料について、ナノからマクロの範囲（プロファイル寸法、粗さ仕上げテクスチャー、形状トポグラフィー、平坦度反り、体積面積、ステップハイト深さ厚みなど）を自動的に測定することが可能です。光学式検査は、豊富な光学ペンを使用することで、限りないアプリケーションを高精度に測定することができます。ナノベアーの光学式検査は、試料の反射率の影響を受けず、試料を準備する必要がなく、高い表面角度を測定する高度な機能を備えています。透明、不透明、鏡面、拡散、研磨、粗面など、あらゆる材質を簡単に測定することができます。他の光学測定技術とは異なり、イメージングステッチなしで広い表面積を正確に測定できます。ナノベアプロフィロメーターは、カスタムサイズ、スピード、スキャン機能、クラス1クリーンルーム準拠、インデックスコンベア付き、インラインまたはオンライン用で構築することができます。ナノベアベンチトップについてもっと知るには プロフィロメーター.*AOI システムの詳細な仕様については、ナノベア社に直接お問い合わせください。
自動光学検査
ナノ～マクロ領域
インスペクション
システム＆ソフトウェア
HS2000 プロフィロメーター 光学式自動検査装置
同クラスの検査装置の50倍の速度で、光学式自動検査を実現。検査速度は最大1m/s、データ取得は最大31KHzを実現し、時間的制約のある生産・品質管理環境において重要な検査を提供します。また、オプションのワークステーションを使用することで、スタンドアロン型の装置としても使用できます。また、180ポイントラインセンサーを搭載することにより、1m/sのステージスピードと最大324,000のデータ取得率で、最大180倍の高速検査が可能となります。高速オートメーションや品質管理環境に理想的なオプションです。HS1000プロフィロメータは、太陽電池、マイクロエレクトロニクス、アスフィアなどの生産環境向けに最適化されたモデルです。最大31,000点/秒の高速測定が可能で、スキャンエリアは最大1m x 1mです。測定範囲は、マイクロエレクトロニクスの平面度、太陽電池の平面度、非球面のトポグラフィーと寸法に及びます。品質管理検査用として、スタンドアローンまたはインラインでの統合が可能です。
- 高速 - 自動化 - ユーザーフレンドリーなテクノロジー - (PRVision) 画像パターン認識 - 強化されたグラナイト構造 - 安全筐体ワークステーション - インデックスコンベアまたはインライン統合オプション - 31,000 点/秒、スキャンエリア最大 1m x 1m でインライン品質管理。
ソフトウエア 2次元パターン認識・3次元解析
PRVision ユーザーが学習した画像ファイルから自動的に特徴を認識します。スキャンされた画像は、すべての特徴を自動認識し、検出されたすべての特徴、またはユーザーが選択したいくつかの特徴を自動的に測定します。 PRVision は、Macro測定時に試料の向きを参照するために使用することもでき、試料をホルダーから出し入れした際に生じる回転や変位を自動的に補正します。このオプションは、表面パターンや複数のサンプルを測定する場合のセットアップ時間を大幅に短縮します。Nanovea 3D ソフトウェアは、さらなる解析に使用される取得ソフトウェアです。このソフトウェアでは、測定する領域や線のサイズ、および測定の横分解能を定義することができます。また、断面図、上面図、3Dビューの3種類のビューをリアルタイムで表示することができます。さらに、微小な表面の検出と測定を容易にするため、再センタリング機能により、ユーザーはスキャン画像上でポイント＆クリックすることで、次のスキャンをその特定のポイントに再センタリングすることができます。また、オプションのオフセットビデオカメラのポイント＆クリック機能を使用することで、この機能を使用することができます。この2つの機能を組み合わせることで、特徴や欠陥を自動的に検出し、その位置を記憶して、その部分を3次元で測定することができます。2Dおよび3Dデータは、寸法、形状、粗さ、体積などをあらかじめ定義された合格・不合格のパラメータと比較するために使用することができます。
