GERÇEĞIN ÖLÇÜMÜ. INTERFEROMETRI DEZAVANTAJLARI

İki beyaz ışığı gözden geçirirken nelere dikkat edilmesi gerektiğine dair bazı düşünceler profilometre teknikleri. Beyaz Işık İnterferometrisinin dezavantajları, numune veya ölçüm kafası belirli adımlarla yukarı veya aşağı hareket ettirilirken saçakların ekran boyunca hareketini görüntüleme sistemi aracılığıyla tespit etmek için yazılım ve matematiksel denklemlerin kullanılmasıyla başlar. Bu ölçümler ancak yazılımın ve görüntüleme parçalarının bu saçakların hareketini "tespit etme" konusunda yapabildikleri kadar iyidir. Yansıtıcı ve pürüzsüz yüzeylerle uğraşırken, verilerin doğruluğu üstündür. Bu nedenle teknik öncelikle yüzeylerin genellikle yansıtıcı olduğu ve varsa basamakların 90° açıya yakın olduğu yarı iletken uygulamaları için geliştirilmiştir.

Ancak, pürüzlü ve yansıtıcılığı düşük bir yüzeyde, İnterferometri tekniğinin doğasında var olan yapaylıklar nedeniyle yazılımın gerçek yüzeyi yorumlaması gerçeklerden uzaklaşır. Buna ek olarak, İnterferometri açı ölçümü açısından da son derece sınırlıdır. Yine, yazılım artık yüzeyin beklenen şekli gibi ek bilgilerle yüzeyleri tamamlamak için mucizeler gerçekleştirebilir. Ham verilerin önizlemesi, yazılımın neyi manipüle ettiğini bilmenin bir yoludur, ancak birincil analiz yazılımı bile otomatik olarak yüzeyin nasıl görünmesi gerektiğine dair bir yorum oluşturur ve kullanıcının haberi olmadan ölçülmemiş noktaları otomatik olarak tamamlar. Akıllı bir yazılımla, 3D görüntünün işlenmesi mükemmel görüneceğinden ve genellikle kullanıcılar yüzeylerinin gerçekten neye benzediğini bilmediğinden, yapaylıkları gerçek verilerden ayırt etmek imkansız olabilir. Bu durum özellikle daha karmaşık ve zor yüzeylerle uğraşırken geçerlidir.

Ayrıca, hız iki teknik arasındaki önemli bir fark olarak gündeme getirilmektedir. İnterferometrinin pürüzlülüğü ve adımı değerlendirmek için bir görüş alanı görüntüsünü daha hızlı ölçebildiği doğrudur. Bunlar pürüzsüz yarı iletken yüzeylerle uğraşırken açık avantajlardır. Ancak yine de, ölçülen yüzey pürüzsüz değilse, veriler daha hızlı sağlanabilir ancak gerçek verilerden uzaktır. Ek olarak, yüzeylerin dikilmesi, yine yüzey pürüzsüz ve yansıtıcı olduğunda ve net konum işaretleriyle çalışır. Yüzey pürüzlü hale geldikçe ve daha zor malzeme türlerinde dikişin doğruluğu azalacaktır. Yüzey pürüzlü olduğunda artefaktları ve bununla ilgili sorunları tespit etmek, net bir adım gördüğünüzde olduğundan daha zor hale gelebilir. En iyi yanal çözünürlüğü elde etmek için 100x objektif kullanmak gerekir, bu da ölçüm alanını yaklaşık 140 mikrometre x 110 mikrometre ile sınırlar. Birleştirilecek görüntü sayısı, daha büyük parçalar üzerinde doğru veriler elde etmeye çalışırken bir sorun haline gelebilir (1mmx1mm için 100 görüntü ve 10mmx10mm için 10000 görüntü). Görüntünün yanal çözünürlüğü, kullanılan kameradaki piksel sayısının bir fonksiyonudur.

Manipülatif İnterferometri tekniğinin aksine, Beyaz ışık Eksenel Kromatizma teknolojisi, yüksekliği doğrudan odak noktasındaki numunenin yüzeyine çarpan dalga boyunun tespitinden ölçer. Matematiksel yazılım manipülasyonu olmadan doğrudan ölçüm yapar. Bu, ölçülen yüzeyde benzersiz bir doğruluk sağlar çünkü bir veri noktası ya yazılım yorumu olmadan doğru bir şekilde ölçülür ya da hiç ölçülmez. Yazılım ölçülmeyen noktayı tamamlayabilir ancak kullanıcı bunun tamamen farkındadır ve başka gizli artefaktlar olmadığından emin olabilir. Teknik ayrıca neredeyse tüm malzeme yüzeylerini, bazı durumlarda 80°'nin üzerine kadar çok daha yüksek açılarla ölçebilir. Eksenel Kromatizma, 30 cm'nin üzerindeki bir uzunluğu 0,3 saniyeden daha kısa bir sürede tarayabilir. Artık 1m/s tarama ile saniyede 31.000 noktaya ulaşan yeni toplama sistemleri mevcuttur. Eksenel Kromatizmalı yeni çizgi sensörleri saniyede 324.000 noktaya kadar ölçüm yapabilmektedir. Bir interferometre tarafından elde edilen tipik bir görüntüde görüş alanı başına 1.000.000'dan az veri noktası bulunur. Bir Eksenel Kromatizma çizgi sensörü kullanarak tarama birkaç saniye sürecektir, bu da daha doğru veriler sağlarken gerçek hızın İnterferometri hızlarına çok yakın olduğu anlamına gelir. Bu nedenle hız, uygulamanın kendisine bağlı olarak değerlendirilmelidir.

İnterferometri tekniğinin büyümesi çoğunlukla daha derin cepleri olan endüstrilerdeki başarılarından kaynaklanmıştır. Bu nedenle, İnterferometrinin maliyeti genellikle benzer çözünürlüğe ve daha geniş kapasiteye sahip Eksenel Kromatizma sistemlerinin iki katıdır. Deneyimlerimiz, 90% uygulamalarının Eksenel Kromatizma tekniği kullanılarak daha iyi sunulduğu yönündedir. Eksenel Kromatizma teknolojisini seçen müşteriler nadiren hayal kırıklığına uğrarken, İnterferometri seçiminde birçok tuzak bulunmaktadır. Ve pişmanlık neredeyse her zaman aynıdır: İnterferometrinin geniş ölçüm kabiliyeti ve yüksek fiyat etiketi ile güvenilir şekilde doğru veri dezavantajı.

Ayrıntılı rapora bakın