表面平坦度測定｜反り・平坦度測定｜株式会社日立製作所

クロマティックコンフォーカル技術は、マイクロパーツ、ガラス、シールなど、表面の平坦度、反り、平坦度が重要視されるアプリケーションの測定に最適です。大きな表面ではステッチが不要なため、局所的な欠陥の検出だけでなく、これらの測定も数秒で正確に行うことができます。 HS2000では、400×500mmの全面積で、1ミクロン以下の偏差で表面平坦度を短時間で測定することが可能です。 また、表面平坦度の偏差の原因となる形状のベストマッチ多項式を求めることも可能である。合格・不合格条件やデータベース通信に加え、パターン認識や自動化により、高度な品質管理ツールとして使用することができます。

規格です。

• ISO25178
• ISO4287
• ISO 13565-2
• ISO 12085
• ISO 12780
• ISO12181

標準測定分析。

• 3Dおよび2Dの表面のうねりや平坦性
• 優れた一致性
• 素材と軸受の比率

ソフトウェアの特徴

• ラインスキャンやエリアスキャンを簡単に定義できる
• レシピ
• 横分解能
• 生データと画像のエクスポート
• リアルタイム表示
• 自動報告
• 多言語対応
• 地図作成

解析ソフトの特徴。

• フィルタリング
• レベリング
• 閾値処理
• ズーム
• 領域選択ツール、フォーム削除ツール
• 引き算、比較関数など多数

高度な自動化。

• オートフォーカス（光学・顕微鏡）、自動解析テンプレート
• マルチサンプルハンドリングマクロ
• プロファイリングやAFM検査において、顕微鏡下のエリアを簡単に選択可能
• 反射率の異なる表面への自動2周波対応
• 回転式ステージ
• パターン認識
• データベース通信
• 合格・不合格の制限
• 最大200倍の高速測定を実現するラインセンサー

サンプル（s）ホルダーと環境条件。

• カスタム/スタンダードサンプルホルダー
• 加熱ステージ

その他の表面測定値。

表面粗さ測定

表面形状測定

表面形状測定

表面積測定

表面段差の高さ測定