自動光学検査装置

HS2000 プロフィロメーター 光学式自動検査装置
同クラスの検査装置の50倍の速度で、光学式自動検査を実現。検査速度は最大1m/s、データ取得は最大31KHzを実現し、時間的制約のある生産・品質管理環境において重要な検査を提供します。また、オプションのワークステーションを使用することで、スタンドアロン型の装置としても使用できます。また、180ポイントラインセンサーを搭載することにより、1m/sのステージスピードと最大324,000のデータ取得率で、最大180倍の高速検査が可能となります。高速オートメーションや品質管理環境に理想的なオプションです。HS1000プロフィロメータは、太陽電池、マイクロエレクトロニクス、アスフィアなどの生産環境向けに最適化されたモデルです。最大31,000点/秒の高速測定が可能で、スキャンエリアは最大1m x 1mです。測定範囲は、マイクロエレクトロニクスの平面度、太陽電池の平面度、非球面のトポグラフィーと寸法に及びます。品質管理検査用として、スタンドアローンまたはインラインでの統合が可能です。

- 高速 - 自動化 - ユーザーフレンドリーなテクノロジー - (PRVision) 画像パターン認識 - 強化されたグラナイト構造 - 安全筐体ワークステーション - インデックスコンベアまたはインライン統合オプション - 31,000 点/秒、スキャンエリア最大 1m x 1m でインライン品質管理。

ソフトウエア 2次元パターン認識・3次元解析
PRVision ユーザーが学習した画像ファイルから自動的に特徴を認識します。スキャンされた画像は、すべての特徴を自動認識し、検出されたすべての特徴、またはユーザーが選択したいくつかの特徴を自動的に測定します。 PRVision は、Macro測定時に試料の向きを参照するために使用することもでき、試料をホルダーから出し入れした際に生じる回転や変位を自動的に補正します。このオプションは、表面パターンや複数のサンプルを測定する場合のセットアップ時間を大幅に短縮します。Nanovea 3D ソフトウェアは、さらなる解析に使用される取得ソフトウェアです。このソフトウェアでは、測定する領域や線のサイズ、および測定の横分解能を定義することができます。また、断面図、上面図、3Dビューの3種類のビューをリアルタイムで表示することができます。さらに、微小な表面の検出と測定を容易にするため、再センタリング機能により、ユーザーはスキャン画像上でポイント＆クリックすることで、次のスキャンをその特定のポイントに再センタリングすることができます。また、オプションのオフセットビデオカメラのポイント＆クリック機能を使用することで、この機能を使用することができます。この2つの機能を組み合わせることで、特徴や欠陥を自動的に検出し、その位置を記憶して、その部分を3次元で測定することができます。2Dおよび3Dデータは、寸法、形状、粗さ、体積などをあらかじめ定義された合格・不合格のパラメータと比較するために使用することができます。