في هذا التطبيق ، جهاز اختبار Nanovea الميكانيكي ، بتقنية النانو اختبار الخدش الوضع ، لقياس مقاومة الكسر لعينة من السيليكون بسمك 170 ميكرون. يجب علينا محاكاة عملية الخدش بطريقة خاضعة للرقابة والمراقبة لملاحظة تأثيرات سلوك العينة. يتم استخدام قلم ذو رأس ماسي بحجم 2 ميكرومتر في حمل تدريجي يتراوح من 0.5 ملي نيوتن إلى 400 ملي نيوتن لخدش سطح السيليكون. سيتم مراجعة نقاط الفشل.

مقاومة كسر السيليكون مع اختبار النانو للخدش