Schneidkantenmessung in Sekundenschnelle

Irvine, Kalifornien, 27. Juli 2016 - Bei der herkömmlichen Profilometrie werden Probenoberflächen aus einer einzigen, festen Richtung gescannt. Dies ist nur für die Messung ausreichend flacher Proben geeignet, im Gegensatz zu zylindrischen Formen, die eine präzise 360°-Drehung erfordern. Für eine Anwendung wie die Charakterisierung der schraubenförmigen Schneidkante eines Werkzeugs würde eine herkömmliche Maschine mehrere Scans aus verschiedenen Winkeln des gesamten Teils sowie eine umfangreiche Datenmanipulation nach dem Scan erfordern. Dies ist oft zu zeitaufwändig für QC-Anwendungen, die nur Messungen von ganz bestimmten Regionen erfordern.

Der Rotationstisch von NANOVEA löst dieses Problem durch die gleichzeitige Bewegungssteuerung der lateralen und rotatorischen Achsen. Mit dieser Technik entfällt die zeitaufwändige Vermessung des gesamten Teils und die ständige Neuausrichtung. Stattdessen kann der volle Umfang der gesamten Schnittkante in Sekundenschnelle bestimmt werden. Alle gewünschten Winkel und Merkmale können direkt aus dem Scan bestimmt werden, ohne dass mehrere Dateien zusammengefügt werden müssen.

Die chromatische konfokale Technik von NANOVEA bietet eine weitaus höhere Auflösung (bis zu 2,7 nm) und Genauigkeit als die der Wettbewerber im Bereich der Fokusvariation. Die rohe Oberflächenhöhe wird direkt aus der Erkennung der auf die Oberfläche fokussierten Wellenlänge gemessen, ohne die durch Interferometrietechniken verursachten Fehler, ohne Einschränkungen des Sichtfelds und ohne Notwendigkeit einer Probenoberflächenvorbereitung. Materialien mit extrem hohem oder niedrigem Reflexionsvermögen können problemlos gemessen werden, und sehr hohe Wandwinkel werden ohne Probleme genau charakterisiert.

In Verbindung mit dem Zeilensensor von NANOVEA kann ein bis zu 4,78 mm breiter Balken in einem einzigen Durchgang erfasst werden, während er sich bis zu 150 mm linear in Scanrichtung bewegt. Gleichzeitig kann der Rotationstisch die Probe mit der gewünschten Geschwindigkeit drehen. Zusammengenommen ermöglicht dieses System die Erstellung einer kontinuierlichen 3D-Höhenkarte des gesamten Umfangs einer Schneidkante mit beliebigem Abstand oder Radius in einem Bruchteil der Zeit im Vergleich zu anderen Technologien.

Siehe App Note: Rotationsmessung mit 3D-Profilometrie