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Bruchfestigkeit von Silizium mit Nano-Kratztests
In dieser Anwendung wird der Nanovea Mechanical Tester, in Nano Kratzertest Modus wird zur Messung der Bruchfestigkeit einer 170μm dicken Siliziumprobe verwendet. Wir müssen den Prozess des Kratzens kontrolliert und überwacht simulieren, um die Auswirkungen des Probenverhaltens zu beobachten. Ein 2μm-Diamantstift wird mit einer progressiven Kraft von 0,5 mN bis 400 mN verwendet, um die Siliziumoberfläche zu zerkratzen. Die Fehlerstellen werden überprüft.
